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海的超聲波顯微鏡以水作為耦合介質(zhì)，將超聲波探頭與被測(cè)芯片浸沒(méi)，探頭發(fā)射的超聲波穿過(guò)水與塑封層，到達(dá)芯片內(nèi)部界面（如 Die 與粘接層）；通過(guò)分析界面反射回波的差異，即可識(shí)別粘接層空洞、分層、脫粘等缺陷，實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的非破壞性質(zhì)量檢測(cè)